首圖

應用材料公司宣佈其「冷場發射」(cold field emission, CFE) 技術已達成商品化並可供應客戶。這一項突破性電子束 (eBeam) 成像技術可協助客戶更好地檢測與成像出奈米級埋藏的缺陷,以加快次世代閘極全環 (Gate-All-Around, GAA) 邏輯晶片、以及更高密度DRAM和3D NAND記憶體的開發和製造。 晶......