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除了在歲修狀態外,半導體產線機台一般都是24小時不停運作,如何維持機台正常運作和產線順暢,影響半導體大廠績效的關鍵,除了檯面上的先進製程,更要確保機台不故障不出錯,甚至能在發生非預期停機前故障前,就早一步掌握機台健康資訊。 但一年才歲修一次的半導體機台如何確保其他時間不故障呢?有辦法在不停機的狀態下發現機台的異常嗎?甚至,有沒有可能預先偵測機台的異常並主動警示呢? 根據I......