Versum Materials和NuMat Technologies將對用於摻雜氣體輸送的下一代吸附劑技術進行商業化
亞利桑那州坦佩--(美國商業資訊)--半導體產業全球領先的材料供應商Versum Materials, Inc. (NYSE:VSM)和致力於將原子設計材料設計並整合至氣體輸送、分離與淨化系統的先鋒企業NuMat Technologies今日宣佈達成全球商業協議,將提供新的產品系列以安全儲存和輸送砷化氫、磷化氫和三氟化硼等摻雜氣體。該新產品系列名為ION-X®,以突破性的金屬有機骨架 (......