火侯拿捏精準到位 半導體製程再進化
您能想像家用微波爐的低頻微波,也能應用於半導體製程嗎?集結交通大學、工研院、國家奈米元件實驗室三方之力的微波退火技術,成功克服多項技術難題,將學理落實於元件製程設備,展現節能與成本優勢,此項技術入圍2017全球百大科技研發獎。 交大、工研院及國家奈米元件實驗室攜手,研發微波退火技術,改變半導體製程,入圍2017全球百大科技研發獎 材料在生產製造的過程都需要......
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