火侯拿捏精準到位 半導體製程再進化
您能想像家用微波爐的低頻微波，也能應用於半導體製程嗎？集結交通大學、工研院、國家奈米元件實驗室三方之力的微波退火技術，成功克服多項技術難題，將學理落實於元件製程設備，展現節能與成本優勢，此項技術入圍2017全球百大科技研發獎。 交大、工研院及國家奈米元件實驗室攜手，研發微波退火技術，改變半導體製程，入圍2017全球百大科技研發獎 材料在生產製造的過程都需要......
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